薄膜光學 19 真空原理 真空計與真空系統部件

D-Sub, 15 pin, male. *Fitting: 1/2” tube. *No metal contamination. *Superior accuracy and repeatability over long period of operation. *Better long term and temperature stability. *Less sensitive to frequent pressure cycles to atmosphere may. *Range

*Easy integration, wide variety of full scales, flanges and interfaces, standard with two set points. *Diagnostic port for quick service and maintenance. *No long term recalibration due to excellent signal stability and repeatability, even in harsh plasma

精確度高達 0.15%，這些真空計通常用於控制多元化製程中的系統， 從工業爐到半導體製造。 作為主動式真空計系列產品的一部分，其具有 0-10V 線性輸出，可直接轉換為壓力讀數。

我們的電容式真空計具備 堅固耐用的機械設計，可強化電磁相容性，確保長期穩定性和優異溫度補償。 此系列產品具備卓越的啟動後快速穩定功能，能從大氣壓力尖峰迅速復原。

伯東公司德國 Pfeiffer 電容薄膜真空規 CCR 系列,高精度測量真空計,全系列抗腐蝕性氣體, 可搭配真空計顯示器 TPG 系列共同使用.

Leybold CERAVAC CTR 電容式壓力計採用最新的 INCONEL 隔膜，提供穩定性、抗腐蝕性，並延長使用壽命。 電池也能抵抗瞬間壓力爆增，這意味著過程中的事故不會損壞儀表，因此不會因為需要維修/更換而導致停機。

按照真空計測量 原理 所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。