真空計種類

真空計の種類と原理 ピラニ真空計 ピラニ真空計は、 熱伝導の変化を利用して圧力を測定する真空計 です。 内部に設けた加熱フィラメントが放つ熱が、ガス分子の多さによって冷却される度合いを検出し、圧力に換算します。 構造がシンプルで耐久性が高く、10⁰～10⁻¹Pa程度の中真空領域で ...

根據真空計測量原理所採用的不同物理機制，真空計主要可分為三類：利用力學性能（如波爾登真空計和薄膜電容規）、利用氣體動力學效應（如皮拉尼電阻規和熱電偶規）和利用帶電粒子效應（熱陰極電離規和冷陰極電離規）。

本記事では、真空計の原理から用途別の種類を説明しています。

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按照真空計測量 原理 所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。