[科大]二維自動化光學檢測及應用_二維檢測原理與技術(上)
AOI(AutomatedOpticalInspection)自動光學檢查是運用機器視覺做為檢測技術，以改進或彌補人力光學檢測的缺陷。AOI的主要功能包括瑕疵檢測、尺寸測量 ...,本系統採用獨特的BLiS量測技術，達到次奈米、非破壞性的表面光學形貌量測，適合半導體製程使用，可支援12吋晶...。參考影片的文章的如下：
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光學測試
AOI(AutomatedOpticalInspection)自動光學檢查是運用機器視覺做為檢測技術，以改進或彌補人力光學檢測的缺陷。AOI的主要功能包括瑕疵檢測、尺寸測量 ...,本系統採用獨特的BLiS量測技術，達到次奈米、非破壞性的表面光學形貌量測，適合半導體製程使用，可支援12吋晶圓的全自動量測。,Chroma最新一代7505-01多功能光學檢測系統能實現在一設備上同時具備1D、2D、3D的量測能力。1D膜厚量測功能，利用穿透反射式量測，可對透明半透...
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